پولی سیلیکون کی تیاری کا طریقہ۔

1. لوڈ کرنا

ہیٹ ایکسچینج ٹیبل پر کوٹڈ کوارٹز کروسیبل رکھیں، سلیکون کا خام مال شامل کریں، پھر حرارتی سامان، موصلیت کا سامان اور فرنس کور لگائیں، فرنس کو خالی کریں تاکہ فرنس میں دباؤ 0.05-0.1mbar تک کم ہو اور ویکیوم برقرار رہے۔ فرنس میں بنیادی طور پر 400-600mbar پر دباؤ رکھنے کے لیے آرگن کو حفاظتی گیس کے طور پر متعارف کروائیں۔

2. گرم کرنا

فرنس باڈی کو گرم کرنے کے لیے گریفائٹ ہیٹر کا استعمال کریں، پہلے گریفائٹ کے پرزوں، موصلیت کی تہہ، سلیکون کے خام مال وغیرہ کی سطح پر جذب ہونے والی نمی کو بخارات سے نکالیں، اور پھر آہستہ آہستہ گرم کریں تاکہ کوارٹج کروسیبل کا درجہ حرارت تقریباً 1200-1300 تک پہنچ جائے۔℃. اس عمل میں 4-5 گھنٹے لگتے ہیں۔

3. پگھلنا

فرنس میں بنیادی طور پر تقریباً 400-600mbar پر دباؤ رکھنے کے لیے آرگن کو حفاظتی گیس کے طور پر متعارف کروائیں۔ کروسیبل میں درجہ حرارت کو تقریباً 1500 تک ڈھالنے کے لیے حرارتی طاقت کو آہستہ آہستہ بڑھائیں۔℃، اور سلکان کا خام مال پگھلنا شروع ہو جاتا ہے۔ تقریباً 1500 رکھیں℃پگھلنے کے عمل کے دوران جب تک پگھلنا مکمل نہ ہو جائے۔ اس عمل میں تقریباً 20-22 گھنٹے لگتے ہیں۔

4. کرسٹل ترقی

سلکان کے خام مال کے پگھلنے کے بعد، حرارتی طاقت کو کم کر کے کروسیبل کا درجہ حرارت تقریباً 1420-1440 تک گرا دیا جاتا ہے۔℃، جو سلکان کا پگھلنے والا نقطہ ہے۔ پھر کوارٹج کروسیبل آہستہ آہستہ نیچے کی طرف بڑھتا ہے، یا موصلیت کا آلہ آہستہ آہستہ بڑھتا ہے، تاکہ کوارٹج کروسیبل آہستہ آہستہ ہیٹنگ زون سے نکل جائے اور گردونواح کے ساتھ ہیٹ ایکسچینج بناتا ہے۔ ایک ہی وقت میں، نیچے سے پگھلنے کے درجہ حرارت کو کم کرنے کے لیے کولنگ پلیٹ سے پانی گزر جاتا ہے، اور سب سے پہلے نیچے سے کرسٹل سلیکون بنتا ہے۔ ترقی کے عمل کے دوران، ٹھوس مائع انٹرفیس ہمیشہ افقی جہاز کے متوازی رہتا ہے جب تک کہ کرسٹل کی ترقی مکمل نہیں ہوجاتی۔ اس عمل میں تقریباً 20-22 گھنٹے لگتے ہیں۔

5. اینیلنگ

کرسٹل کی نشوونما مکمل ہونے کے بعد، کرسٹل کے نیچے اور اوپر کے درمیان بڑے درجہ حرارت کے میلان کی وجہ سے، پنڈ میں تھرمل تناؤ موجود ہو سکتا ہے، جسے سلکان ویفر کو گرم کرنے اور بیٹری کی تیاری کے دوران دوبارہ ٹوٹنا آسان ہوتا ہے۔ . اس لیے، کرسٹل کی نشوونما مکمل ہونے کے بعد، سلیکون پنڈ کو پگھلنے کے مقام کے قریب 2-4 گھنٹے کے لیے رکھا جاتا ہے تاکہ سلیکون پنڈ کے درجہ حرارت کو یکساں بنایا جا سکے اور تھرمل تناؤ کو کم کیا جا سکے۔

6. ٹھنڈا کرنا

سلکان پنڈ کو بھٹی میں اینیل کرنے کے بعد، حرارتی طاقت کو بند کر دیں، حرارت کی موصلیت کا آلہ بڑھائیں یا سلکان پنڈ کو مکمل طور پر کم کریں، اور سلکان پنڈ کے درجہ حرارت کو آہستہ آہستہ کم کرنے کے لیے بھٹی میں آرگن گیس کا ایک بڑا بہاؤ داخل کریں۔ کمرے کے درجہ حرارت؛ ایک ہی وقت میں، بھٹی میں گیس کا دباؤ آہستہ آہستہ بڑھتا ہے جب تک کہ یہ ماحولیاتی دباؤ تک نہ پہنچ جائے۔ اس عمل میں تقریباً 10 گھنٹے لگتے ہیں۔